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As low stiffness can occur with any material
長年にわたって高速エレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクスデバイスの基本構造として広範囲に使用されてきた。ユーザの仕様通りに材料を成長させる，エピタキシャル層のサプライヤがいる。スタンダード化された用語，許容範囲，および推奨されたテスト方法等を定義し，ウェーハ仕様の解釈の曖昧さをなくす必要がある。特に力を入れたのは，均一性の定義である。本文書が扱うのは，基本となる必要条件だけである。実際の製品仕様においてはユーザ，サプライヤ間の更なる要求項目が必要とされる。
SEMI T5 — Specification for Alphanumeric Marking of Round Compound Semiconductor Wafers
4-1022 (Reapproved 0224)
Semiconductor Manufacturing Monitor Subscription StdPbc-0824 As low stiffness can occurJoint report from SEMI and TechInsights covering semiconductor equipment billings, fab capacity as well as semiconductor and electronics sales. Report includes two full years of historical data plus a one quarter outlook for the semiconductor manufacturing supply chain, including leading IDM, fabless, foundry, OSAT, and equipment companies.
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