E15800 - SEMI E158 - 450 mmウェーハ搬送および保管用の工場ウェーハキャリア（450FOUP）とキネマティックカプリングの機械仕様 Revision:SEMI E158-0912 - Superseded このスタンダードは，装置の2つの部分の間のワイヤ接続パラレルI/Oインタフェース，およびプロセス装置と搬送装置の間の光結合パラレルI/Oインタフェースを，定義している。

このスタンダードは，装置の2つの部分の間のワイヤ接続パラレルI/Oインタフェース，およびプロセス装置と搬送装置の間の光結合パラレルI/Oインタフェースを，定義している。

SEMI E10-0422 (technical revision)

and is similar to ASTM E82

SEMI S2-0706d (delayed revision)

E15800 - SEMI E158 - 450 mmウェーハ搬送および保管用の工場ウェーハキャリア（450FOUP）とキネマティックカプリングの機械仕様 Revision:SEMI E158-0912 - Superseded このスタンダードは，装置の2つの部分の間のワイヤ接続パラレルI/Oインタフェース，およびプロセス装置と搬送装置の間の光結合パラレルI/Oインタフェースを，定義している。SEMI SEMI Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee20131223global Audits and Reviews Subcommittee20143www. semiviews. org www. semi. org2010720129 SEMI M74450 mm 450 mm 450 mm 450 mmKCP 3 Referenced SEMI Standards SEMI E144 Specification for RF Air Interface Between RFID Tags in Carriers and RFID Reader in Semiconductor Production and Material Handling Equipment SEMI M74 Specification for 450 mm Diameter Mechanical Handling Polished