P03000 - SEMI P30 - 寸法測定用走査型電子顕微鏡（CD-SEM）の目録発行の実施要領 StdPbc-1019 サファイア基板は，窒化ガリウムと関連する薄膜のヘテロエピタキシャル成長に使用される。薄膜の特性は，使用される基板の特性に部分的に依存する。これらの仕様は，デバイスの製造に適した薄膜に成長に使用するために必要な判定基準の仕様を提供し，サファイア基板の表記法を統一するためのものである。

サファイア基板は，窒化ガリウムと関連する薄膜のヘテロエピタキシャル成長に使用される。薄膜の特性は，使用される基板の特性に部分的に依存する。これらの仕様は，デバイスの製造に適した薄膜に成長に使用するために必要な判定基準の仕様を提供し，サファイア基板の表記法を統一するためのものである。

SEMI C33-0699 (first published - replaces SEMI C1

a guide for material requirements is needed to assure product quality

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P03000 - SEMI P30 - 寸法測定用走査型電子顕微鏡（CD-SEM）の目録発行の実施要領 StdPbc-1019 サファイア基板は，窒化ガリウムと関連する薄膜のヘテロエピタキシャル成長に使用される。薄膜の特性は，使用される基板の特性に部分的に依存する。これらの仕様は，デバイスの製造に適した薄膜に成長に使用するために必要な判定基準の仕様を提供し，サファイア基板の表記法を統一するためのものである。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Global Micropatterning CommitteeJapanese Micropatterning Committee2004723Japanese Regional Standards Committee20049www. semi. org2004111997 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to